成膜装置及成膜方法,申请号TW099139777-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	成膜装置及成膜方法
摘要
申请公布号	TWI441964	申请公布日期	2014.06.21
申请号	TW099139777	申请日期	2010.11.18
申请人	纽富来科技股份有限公司日本	发明人	铃木邦彦;三谷慎一
分类号	C30B25/14;C23C16/455;C30B29/36;H01L21/205	主分类号	C30B25/14
代理机构		代理人	林志刚台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址	日本

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