| 发明名称 |
离子植入系统、磁性扫描器以及操作该离子植入系统的方法 |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
TWI442442 |
申请公布日期 |
2014.06.21 |
| 申请号 |
TW096134834 |
申请日期 |
2007.09.19 |
| 申请人 |
艾克塞利斯科技公司 美国 |
发明人 |
波Ｈ. 凡德尔贝格;罗伯特 拉特梅尔;爱德华 艾斯纳 |
| 分类号 |
H01J37/147;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
美国 |
