发明名称 GAS MIXING DEVICE
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Zusammenmischen mehrerer Gase, mit einer Mehrzahl von Gaszuleitungen (3), die in eine Mischkammer (1) münden, mit einer Gasumlenkeinrichtung (4, 5, 18, 23, 24, 25) um einen zirkulierenden Gasstrom zu erzeugen und mit einer Gasaustrittsöffnung (6, 22) oder einem Gasaustrittsrohr (2), in das die Gasaustrittsöffnung (22) mündet, aus der die durch die Gaszuleitungen (3) in die Mischkammer (1) eingespeisten Gasströme aus der Mischkammer (1) ausströmen. Zur gebrauchsvorteilhaften Weiterbildung wird vorgeschlagen, dass die erste Gasumlenkeinrichtung (4, 5,18, 23, 24, 25) in der Mischkammer (1) angeordnet ist.</p>
申请公布号 WO2014090925(A1) 申请公布日期 2014.06.19
申请号 WO2013EP76329 申请日期 2013.12.12
申请人 AIXTRON SE 发明人 PAGADALA GOPI, BASKAR
分类号 C23C16/455;B01F3/02;B01F5/00 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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