发明名称 |
正型感光性树脂组合物、硬化物的制造方法、树脂图案制造方法、硬化物及光学构件 |
摘要 |
本发明的目的在于提供一种可抑制显影时的未曝光部的溶解的正型感光性树脂组合物。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于:含有(成分A)无机粒子、(成分B)具有酸基的分散剂、(成分C)溶剂、(成分D)含有(a-1)具有通过酸和/或热而脱离的基的结构单元与(a-2)具有交联性基的结构单元的聚合物、及(成分E)光酸产生剂,并且成分D的酸值为50mg KOH/g以下。 |
申请公布号 |
CN103874961A |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
申请号 |
CN201280049904.2 |
申请日期 |
2012.10.12 |
申请人 |
富士胶片株式会社 |
发明人 |
藤盛淳一;下野胜弘;久保田诚;铃木成一 |
分类号 |
G03F7/039(2006.01)I;C08F220/26(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/039(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
臧建明 |
主权项 |
一种正型感光性树脂组合物,其特征在于,包含:(成分A)无机粒子;(成分B)具有酸基的分散剂;(成分C)溶剂;(成分D)含有(a‑1)具有通过酸和/或热而脱离的基的结构单元与(a‑2)具有交联性基的结构单元的聚合物;以及(成分E)光酸产生剂;并且所述成分D的酸值为50mg KOH/g以下。 |
地址 |
日本东京港区西麻布二丁目26番30号 |