发明名称 |
一种晶圆可接受性测试的出货数据系统及其实施方案 |
摘要 |
本发明公开晶圆可接受性测试的出货数据系统及其实施方案,包括相互连接的第一判断模块、计算模块、数据输出模块和第二判断模块。步骤一:晶圆可接受性测试的所有数据以及定义与所述晶圆可接受性测试的所有数据相对应的出货规格;步骤二:判断晶圆可接受性测试的数据是否有缺失;步骤三:计算各个数据的通过率;步骤四:判断是否需要出货报告;使用本发明晶圆可接受性测试的出货数据系统及其实施方案,将所有需要出货Lot的WAT数据,根据出货规格进行数据计算,得到结果后告知工程师,并自动生成出货报告。当数据有缺失或者数据超出规格时,能够及时让工程师发现问题,有效地杜绝工程师人工计算的错误率,也可以减少工程师的工作量。 |
申请公布号 |
CN103870918A |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
申请号 |
CN201410060285.8 |
申请日期 |
2014.02.21 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
徐燕菁;邵雄 |
分类号 |
G06Q10/06(2012.01)I |
主分类号 |
G06Q10/06(2012.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
吴俊 |
主权项 |
一种晶圆可接受性测试的出货数据系统,其特征在于,所述系统包括:第一判断模块,所述第一判断模块用以判断获取的晶圆可接受性测试的数据是否有缺失;计算模块,所述计算模块与所述第一判断模块信号连接,所述计算模块用以计算每片晶圆各测试参数通过率;数据输出模块,所述数据输出模块与所述计算模块信号连接,所述数据输出模块用以输出数据报告;以及第二判断模块,所述第二判断模块与所述数据输出模块信号连接,所述第二判断模块用以判断是否需要生成所述数据报告。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |