一种基于超快激光的柔性电子材料板微小孔高速制造装置

摘要

一种基于超快激光的柔性电子材料板微小孔高速制造装置，包括超快激光器，超快激光器发出激光光束，经导光系统完成激光器基本参数的调整和光路的分解和聚焦，激光光束照射在放置于机床运动系统的加工台上的样品上，在导光系统和样品之间的光路旁边设有定位和监测系统，运动系统、超快激光器、导光系统、定位和监测系统、加工台分别和控制系统连接，定位和监测系统实现对加工位置的精确定位及已加工微小孔的实时监测，控制系统调整激光的各加工参数、样品的加工位置的定位并实现对加工区域的实时监测，本发明具有高质量高效率的加工柔性电子板材料微小孔的优点，同时具有对加工位置的辅助定位及已加工微小孔的实时监测的优点。

主权项

一种基于超快激光的柔性电子材料板微小孔高速制造装置，包括超快激光器（2），其特征在于：超快激光器（2）发出激光光束，经导光系统（3）完成激光器基本参数的调整和光路的分解和聚焦，激光光束照射在放置于机床运动系统（1）的加工台（6）上的样品上，在导光系统（3）和样品之间的光路旁边设有定位和监测系统（4），运动系统（1）、超快激光器（2）、导光系统（3）、定位和监测系统（4）、加工台（6）分别和控制系统（5）连接，定位和监测系统（4）实现对加工位置的精确定位及已加工微小孔的实时监测，控制系统（5）调整激光的各加工参数、样品的加工位置的定位并实现对加工区域的实时监测。