晶体表面除尘装置

摘要

本实用新型公开了一种晶片表面除尘装置，旨在提供一种结构简单、使用方便、能提高晶片载入率、能除去晶片表面粉尘而提高产品良品率的晶片表面除尘装置。该晶片表面除尘装置包括吸附治具、连接管、真空发生器、电磁阀、控制开关，所述吸附治具通过连接管与所述真空发生器的吸气口相联通，所述真空发生器的进气口与外部的空压机相联通，所述电磁阀设置在所述进气口处，所述电磁阀、所述控制开关与电源相连接，所述吸附治具包括盒体、设置在所述盒体上的空腔、设置在所述盒体一侧且分别于所述空腔和所述连接管相联通的吸气口、设置在所述盒体的突起部、设置在所述突起部上的导柱和与所述空腔相联通的若干个晶片吸附孔。

主权项

一种晶片表面除尘装置，其特征在于：所述晶片表面除尘装置包括吸附治具（1）、连接管（2）、真空发生器（3）、电磁阀（4）、控制开关（5），所述吸附治具（1）通过连接管（2）与所述真空发生器（3）的吸气口（30）相联通，所述真空发生器（3）的进气口（31）与外部的空压机相联通，所述电磁阀（4）设置在所述进气口（31）处，所述电磁阀（4）、所述控制开关（5）与电源相连接，所述吸附治具（1）包括盒体（10）、设置在所述盒体（10）上的空腔（11）、设置在所述盒体（10）一侧且分别于所述空腔（11）和所述连接管（2）相联通的吸气口（12）、设置在所述盒体（10）的突起部（13）、设置在所述突起部（13）上的导柱（14）和与所述空腔（11）相联通的若干个晶片吸附孔（15）。