一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法

摘要

本发明提供了一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法，包括以下步骤：将铌铸锭第一次预热，在预热后的铌铸锭表面涂覆第一抗氧化涂层；将涂覆第一抗氧化涂层后的铌铸锭进行第一次热锻，将第一次热锻后的铌铸锭进行第一次热处理；将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次热锻，将第二次热锻后的铌铸锭进行第二次热处理。本发明主要采用锻造的方式对铌铸锭进行处理，使得铸锭中部及心部的柱状晶区得到充分破碎，从而改善铌铸锭的铸造态组织的不均匀程度；另一方面，通过两次锻造，消除了铌铸锭铸造态的枝晶、晶带、非等轴晶及粗晶等不良组织的存在，使铌铸锭的内部晶粒组织得到充分细化，最终得到了内部晶粒均匀的铌旋转靶材用铌坯。

主权项

一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法，包括以下步骤：将铌铸锭第一次预热，在预热后的铌铸锭表面涂覆第一抗氧化涂层；将涂覆第一抗氧化涂层后的铌铸锭进行第一次热锻，将第一次热锻后的铌铸锭进行第一次热处理；将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次热锻，将第二次热锻后的铌铸锭进行第二次热处理。