晶圆搬运机器人

摘要

本发明为一种晶圆搬运机器人，其中包含：驱动一立柱运行的滚珠螺杆及线性滑轨；由该滚珠螺杆的螺杆的中心延伸一条延伸线，由该线性滑轨的滑轨的中心延伸一条延伸线，两该延伸线交于一点，该点与该立柱的中心点约重叠，且两该延伸线的夹角约等于90度，借由该线性滑轨与滚珠螺杆的配置关系，以降低在驱动该立柱时所产生的力矩，而使该立柱的运行精度提升。

主权项

一种晶圆搬运机器人，其特征在于，包含：一基座，其包含：一底板、一立板及顶板，该立板外型为长条型板状的型态，定义该长方向的两端分别为第一端及第二端，该第一端及第二端分别供该底板与顶板固定而形成一Ｕ字型的结构型态，该顶板设有一穿设孔；一立柱，穿设于该穿设孔，并可相对该穿设孔往复位移；一滚珠螺杆，包含：一螺杆及一螺帽，该螺杆沿一方向延伸为长条状结构，定义该延伸方向为轴方向，该螺杆的轴方向的两端分别定义为第一端及第二端，该第一端固定于该顶板，该第二端固定于底板，其设有螺旋状的第一滚动沟；该螺帽设有供该螺杆穿设的贯穿孔，该贯穿孔的内缘面设有相对第一滚动沟的第二滚动沟，该第一滚动沟及第二滚动沟之间设有多个第一滚动件；螺帽与立柱连结；一线性滑轨，包含：一滑轨及一滑块，该滑轨沿一方向延伸为长条状结构，定义该延伸方向为轴方向，该滑轨固定于该立板，该滑轨的轴方向两侧分别设有第三滚动沟；该滑块套设于该滑轨、并可相对滑轨运行，该滑块设有相对该第三滚动沟的第四滚动沟，该第三滚动沟及第四滚动沟之间设有多个第二滚动件；该滑块与该立柱连结；一动力源，其固定于底板，该动力源与该螺杆的第二端连接并驱动螺杆旋转；其中，由该螺杆的中心延伸一条延伸线，由该滑轨的中心延伸一条延伸线，两延伸线交于一点，该点与该立柱的中心点约重叠，且两该延伸线的夹角为90度；其中，该螺杆经由该动力源驱动旋转时，使该滑块作线性位移并带动该立柱相对该穿设孔位移。