一种抑制氟硅玻璃晶体缺陷的方法

摘要

一种抑制氟硅玻璃晶体缺陷的方法，包括如下步骤：步骤一，在晶圆表面淀积一层氟硅玻璃；步骤二，对氟硅玻璃的上表面进行等离子处理，形成一层低氟氧化层；步骤三，用去离子水对晶圆进行冲洗；所述步骤一和所述步骤二在同一化学气相沉积反应舱中进行。本发明的有益效果是：氟硅玻璃淀积完成后，在同一腔体进行等离子处理，减少氟硅玻璃上表面的氟，抑制其亲水性，防止晶体缺陷，同时利用去离子水与表面少量的氟反应，形成氢氟酸，随后被冲洗出晶圆，进一步的巩固效果，提高器件的可靠性。

主权项

一种抑制氟硅玻璃晶体缺陷的方法，包括如下步骤：步骤一，在晶圆表面淀积一层氟硅玻璃；步骤二，对氟硅玻璃的上表面进行等离子处理，形成一层低氟氧化层；步骤三，用去离子水对晶圆进行冲洗。