一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽

摘要

本实用新型公开了一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，包括内部装有硅片清洗用水的水槽、对水槽内水温进行实时检测的温度检测单元和对水槽内所装水进行加热的外循环式水加热系统；外循环式水加热系统包括加热柜，加热柜与水槽之间通过水循环管道进行连通，水循环管道上安装有循环泵，加热柜包括柜体和布设在柜体内的电加热器；温度检测单元与信号采集电路相接，信号采集电路与温控器相接，电加热器由温控器进行控制；柜体上部装有与电加热器内部相通的排气管。本实用新型结构简单、设计合理、占地面积小且使用操作简便、使用效果好，能有效保证切割后硅片的清洗水温，避免因清洗前后温差大导致的裂片问题，提高硅片的成品率。

主权项

一种基于外循环式水加热系统的多晶硅脱胶清洗水槽，其特征在于：包括内部装有硅片清洗用水的水槽（1）、对水槽（1）内水温进行实时检测的温度检测单元（4）和对水槽（1）内所装水进行加热的外循环式水加热系统；所述外循环式水加热系统包括加热柜（2），所述加热柜（2）与水槽（1）之间通过水循环管道进行连通，所述水循环管道上安装有循环泵（3），所述加热柜（2）包括柜体和布设在所述柜体内的电加热器（5），所述柜体的内侧壁上均铺装有一层保温层（6）；所述水循环管道包括进水管（7）和出水管（8），所述进水管（7）的一端伸入至水槽（1）内且其另一端与所述柜体上所开的进水口相接，所述出水管（8）的一端伸入至水槽（1）内且其另一端与所述柜体上所开的出水口相接，所述进水管（7）和出水管（8）均与电加热器（5）内部相通；所述温度检测单元（4）与信号采集电路（9）相接，所述信号采集电路（9）与温控器（10）相接，所述电加热器（5）和循环泵（3）均由温控器（10）进行控制且二者均与温控器（10）相接；所述柜体上部装有排气管（11），所述排气管（11）与电加热器（5）内部相通。