用于高速原子力显微镜的激光检测装置及其检测方法

摘要

本发明公开一种用于高速原子力显微镜的激光检测装置及其检测方法，涉及扫描探针显微成像技术领域。所述的检测方法为由激光器发射出的水平激光束，经分光棱镜反射后向下入射到非球面镜中，经过非球面镜聚焦到探针表面；经探针表面反射的光束再次经过非球面镜，经另一分光棱镜反射最终照射到位置灵敏度探测器上。基于该检测方法，本发明提供的激光检测装置主要包括：激光器固定压片、激光器支撑板、连接板、分光棱镜固定框架、非球面镜镜筒、分光棱镜压板等。采用本发明提供的检测装置，获得激光光斑尺寸小，可以达到16μm以内，比激光束光斑减小50%左右；用于高速原子力显微成像，具有调节容易、使用简单、抗干扰能力强等特点。

主权项

用于高速原子力显微镜的激光检测装置，其特征在于：包括激光器固定压片和激光器支撑板、连接板、非球面镜镜筒、前置放大器和PSD固定板、二维调节台A、二维调节台B、二维调节台固定板、探针架和底板；将激光器放置在激光器支撑板上，并且用激光器固定压片进行固定；激光器支撑板固定在连接板上；非球面镜放置并固定在非球面镜镜筒的下半部分内，非球面镜镜筒的上半部分固定在连接板的下方，非球面镜镜筒的上半部分和下半部分通过螺纹耦合在一起；连接板固定在二维调节台A上面，二维调节台A固定在底板的右端；底板的左端固定二维调节台固定板，前置放大器和PSD固定板固定在二维调节台B上，二维调节台B固定在二维调节台固定板上；AFM探针通过探针架固定并放置在非球面镜镜筒下方。