提高等离子体系统内数据传送速率的装置

摘要

一种总线互连结构将主机系统与耦接至等离子体室的射频（RF）发生器对接。总线互连结构包含第一组主机端口，其被用于将功率分量设定和频率分量设定提供给RF发生器。第一组主机端口的端口被用于接收随着时间改变的不同的变量。总线互连结构还包含第二组发生器端口，其被用于将功率读回值和频率读回值发送给主机系统。总线互连结构包含与主机系统集成的采样器电路。采样器电路被配置为在第一组端口，在选择的时钟沿对信号采样，以捕捉等离子体室和RF发生器的操作状态数据。

主权项

一种总线互连结构，其用于将主机系统与耦接至等离子体室的射频（RF）发生器对接，所述总线互连结构包括：多个主机端口，其中，所述主机系统的第一和第二端口被用于将功率分量设定和频率分量设定提供给所述RF发生器，所述主机系统的第三、第四、第五和第六端口被用于接收随着时间改变的4个不同的变量；多个发生器端口，其中，所述RF发生器的第一和第二端口被用于将功率读回值和频率读回值发送给所述主机系统；以及与所述主机系统集成的采样器电路，所述采样器电路被配置为在所述主机系统的所述第三、第四、第五和第六端口，在选择的时钟沿对信号采样，以捕捉所述RF发生器和所述等离子体室的操作状态数据。