石墨烯片的形成装置与形成方法

摘要

本发明提供的石墨烯片的形成装置，包括：气导管；碳氢气体源，连接至气导管前段以提供碳氢气体通过气导管；微波源，提供微波经导波管通过气导管中段，使碳氢气体形成微波等离子体火焰，其中微波等离子体火焰使碳氢气体裂解后并形成石墨烯片；以及收集管，连接至气导管后段以收集石墨烯片。

主权项

一种石墨烯片的形成装置，其特征在于，包括：一气导管；一碳氢气体源，连接至该气导管前段以提供一碳氢气体通过该气导管；一微波源，提供一微波经一导波管通过该气导管中段，使该碳氢气体形成一微波等离子体火焰，其中该微波等离子体火焰使该碳氢气体裂解后并形成一石墨烯片；以及一收集管，连接至该气导管后段以收集该石墨烯片。