发明名称 |
一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制造方法,通过将传统的气体喷淋头的气体通孔设置为直径不同的两段,在不影响气体流速的前提下提高了涂层进入气体通孔的深度,同时,采用对分别气体喷淋头上下表面涂覆陶瓷涂层,使得气体通孔的内表面可以完全涂覆防腐蚀的陶瓷涂层,保护气体通孔的侧壁不受携能粒子的轰击,延长了气体喷淋头的使用寿命。 |
申请公布号 |
CN103866291A |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
申请号 |
CN201210553227.X |
申请日期 |
2012.12.18 |
申请人 |
中微半导体设备(上海)有限公司 |
发明人 |
张力;贺小明;浦远;倪图强 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
一种耐腐蚀的气体喷淋头,包括气体喷淋头主板和若干贯穿所述气体喷淋头主板的气体通道,其特征在于:所述气体通道包括至少第一直径通道和第二直径通道,所述第一直径小于所述第二直径,所述气体通道表面涂覆耐腐蚀层,所述耐腐蚀涂层包括微弧氧化层。 |
地址 |
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号 |