| 发明名称 | 垂直扩散氧化炉石英工艺管的结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种垂直扩散氧化炉石英工艺管，其工艺气体分流室的高度与直径的比值在0.054以上，工艺气体分流室的体积在0.725升以上。本发明通过增加工艺气体分流室的高度和体积，减少了工艺气体对气体分流板向下的压力，同时也避免了工艺气体分流室顶部石英层在高温条件下向下变形接触工艺气体引导管，从而减缓了气体分流板的向下塌陷变形，延长了石英工艺管在1200℃高温下的连续使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN103871927A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201210529564.5 | 申请日期 | 2012.12.10 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 刘波;董颖 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 刘昌荣 |
| 主权项 | 一种垂直扩散氧化炉石英工艺管，其特征在于，工艺气体分流室的高度与直径的比值在0.054以上，工艺气体分流室的体积在0.725升以上。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||