| 发明名称 | 一种极紫外脉冲发生调制器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种极紫外脉冲发生调制器，包括：电子源、调控栅极、聚焦电极和阳极靶；其中，电子源产生电子，调控栅极对电子源所产生电子的强度进行调控，形成电子脉冲；聚焦电极所形成的电场将电子脉冲聚焦；所述阳极靶加速电子脉冲，所述电子脉冲最终轰击阳极靶，生成极紫外脉冲射线；所述极紫外脉冲射线的波长范围在10nm-200nm。 | ||
| 申请公布号 | CN103871832A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201410109608.8 | 申请日期 | 2014.03.21 |
| 申请人 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 发明人 | 李保权 |
| 分类号 | H01J61/04(2006.01)I | 主分类号 | H01J61/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人 | 杨小蓉 |
| 主权项 | 一种极紫外脉冲发生调制器，其特征在于，包括：电子源（1）、调控栅极（2）、聚焦电极（3）和阳极靶（4）；其中，所述电子源（1）产生电子，所述调控栅极（2）对所述电子源（1）所产生电子的强度进行调控，形成电子脉冲（5）；聚焦电极（3）所形成的电场将电子脉冲（5）聚焦；所述阳极靶（4）加速电子脉冲（5），所述电子脉冲（5）最终轰击阳极靶（4），生成极紫外脉冲射线；所述极紫外脉冲射线的波长范围在10nm‑200nm。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村南二条1号 | ||