PECVD镀膜装置的电极结构

摘要

本实用新型提供了一种PECVD镀膜装置的电极结构。该PECVD镀膜装置的电极结构包括：第一电极对，第一电极对包括相对设置的第一电极辊和第二电极辊，第一电极辊内设置有第一内磁路，第二电极辊内设置有第二内磁路；第二电极对，第二电极对的两个电极的中心连线与第一电极辊和第二电极辊的中心连线相互垂直并对称布置。本实用新型所提供的PECVD镀膜装置的电极结构，能够降低放电电压，较大程度避免误放电，降低能源消耗并提升膜面质量。

主权项

一种PECVD镀膜装置的电极结构，其特征在于，包括：第一电极对，所述第一电极对包括相对设置的第一电极辊和第二电极辊，所述第一电极辊内设置有第一内磁路，所述第二电极辊内设置有第二内磁路；第二电极对，所述第二电极对的两个电极的中心连线与所述第一电极辊和第二电极辊的中心连线相互垂直并对称布置。