平板型太阳能吸热条带镀膜装置

摘要

本实用新型涉及平板型太阳能吸热条带镀膜装置，其特征在于镀膜室内设置有工件架和工件卷筒，工件卷筒的形状设置成六棱柱形，工件卷筒设置在上转盘与下转盘之间，工件卷筒的上端通过连接轴与上转盘连接，工件卷筒的下端通过连接轴与下转盘连接，工件卷筒可以绕工件卷筒两端的连接轴旋转，上转盘与下转盘之间通过转盘联接杆连接在一起，下转盘上中间设置有一个形的屏蔽板和四个溅射靶，相邻的溅射靶通过形的屏蔽板分隔开，下转盘的下面设置有公转盘，在镀膜室的背面设置有真空排气孔，镀膜室内设置真空，镀膜室的一侧还设置有前圆弧门。本实用新型具有以下优点：1、为间歇式镀膜，设备简单易操作；2、设备价低；3、也可用于中高温集热管镀膜。

主权项

平板型太阳能吸热条带镀膜装置，包括前圆弧门(1)、镀膜室(2)、工件架(3)、真空排气孔(4)、上转盘(5)、下转盘(6)、公转盘(7)、转盘联接杆(8)、溅射靶(9)、工件卷筒(10)、屏蔽板(11)，其特征在于镀膜室(2)内设置有工件架(3)和工件卷筒(10)，工件卷筒(10)的形状设置成六棱柱形，工件架(3)由上转盘(5)、下转盘(6)、公转盘(7)、转盘联接杆(8)、溅射靶(9)和屏蔽板(11)组成，工件卷筒(10)设置在上转盘(5)与下转盘(6)之间，工件卷筒(10)的上端通过连接轴与上转盘(5)连接，工件卷筒(10)的下端通过连接轴与下转盘(6)连接，工件卷筒(10)可以绕工件卷筒(10)两端的连接轴旋转，上转盘(5)与下转盘(6)之间通过转盘联接杆(8)连接在一起，下转盘(6)上中间设置有一个十字形的屏蔽板(11)和四个溅射靶(9)，相邻的溅射靶(9)通过十字形的屏蔽板(11)分隔开，溅射靶(9)和屏蔽板(11)的顶端与上转盘(5)接触，下转盘(6)的下面设置有公转盘(7)，在镀膜室(2)的背面设置有真空排气孔(4)，镀膜室(2)内设置真空，镀膜室(2)的一侧还设置有前圆弧门(1)。