| 发明名称 | 光刻机 | ||
| 摘要 | 1．本外观设计产品的名称：光刻机。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于集成电路、半导体元器件、光电子器件、光学器件的研制和生产。3．本外观设计产品的设计要点：外形。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。5．省略视图：本外观设计为大型设备，其底面不经常看到，故省略仰视图。 | ||
| 申请公布号 | CN302849891S | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201330529154.6 | 申请日期 | 2013.11.06 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 徐程;朱诚 |
| 分类号 | 15-09 | 主分类号 | 15-09 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | |||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||