透明导电薄膜室温沉积装置及方法

摘要

本发明涉及导电薄膜技术领域，具体涉及一种可在常温下将导电油墨直接溅射到基底表面的透明导电薄膜制造装置及方法。该装置包括驱控机构以及与其连接的溅射机构，所述溅射机构与导电油墨连通；所述驱控机构驱动控制溅射机构将导电油墨溅射在覆有掩膜的基底表面；所述导电油墨为液态金属油墨。本发明的装置在常规条件下即可完成透明导电薄膜的制备过程，不但降低了对制备环境的要求，而且显著简化了透明导电薄膜制备工艺，提高了透明导电薄膜的生产效率，为柔性电子器件的发展提供了有力的技术支持。

主权项

一种透明导电薄膜室温沉积装置，其特征在于，包括驱控机构以及与其连接的溅射机构，所述溅射机构与导电油墨连通；所述驱控机构驱动控制溅射机构将导电油墨溅射在覆有掩膜（2）的基底（1）表面；所述导电油墨为液态金属油墨。