喷淋头

摘要

本实用新型公开了一种喷淋头。所述喷淋头包括第一气体腔室和多个第二气体腔室，所述第一气体腔室位于所述第二气体腔室上方，所述喷淋头由堆叠的结构化板通过连接固定件连接形成；所述堆叠的结构化板包括自上而下堆叠设置的第一结构化板和第二结构化板；所述第一结构化板和第二结构化板之间形成所述多个第二气体腔室，所述第一结构化板中具有多个第一气体通道，所述第二结构化板中具有多个间隔设置第二气体通道和第三气体通道，所述第一气体通道和第二气体通道相连通并共同连通所述第一气体腔室与反应区域，所述第三气体通道连通所述第二气体腔室与反应区域。因此，避免了焊接形成的气体腔室及气体通道对反应气体的影响。

主权项

一种喷淋头，用于向反应区域提供反应气体，包括第一气体腔室和多个第二气体腔室，所述第一气体腔室位于所述第二气体腔室上方，其特征在于，所述喷淋头由堆叠的结构化板通过连接固定件连接形成；所述堆叠的结构化板包括自上而下堆叠设置的第一结构化板和第二结构化板；所述第一结构化板和第二结构化板之间形成所述多个第二气体腔室，所述第一结构化板中具有多个第一气体通道，所述第二结构化板中具有多个间隔设置的第二气体通道和第三气体通道，所述第一气体通道和第二气体通道相连通并共同连通所述第一气体腔室与反应区域，所述第三气体通道连通所述第二气体腔室与反应区域。