发明名称 Gasmischvorrichtung
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Zusammenmischen mehrerer Gase, mit einer Mehrzahl von Gaszuleitungen (3), die in eine Mischkammer (1) münden, mit einer Gasumlenkeinrichtung (4, 5) um einen zirkulierenden Gasstrom zu erzeugen und mit einer Gasaustrittsöffnung (6) oder einem Gasaustrittsrohr (2), in das die Gasaustrittsöffnung mündet, aus der die durch die Gaszuleitungen (3) in die Mischkammer (1) eingespeisten Gasströme aus der Mischkammer (1) ausströmen. Zur gebrauchsvorteilhaften Weiterbildung wird vorgeschlagen, dass die erste Gasumlenkeinrichtung (4, 5) in der Mischkammer (1) angeordnet ist.</p>
申请公布号 DE102013113817(A1) 申请公布日期 2014.06.18
申请号 DE201310113817 申请日期 2013.12.11
申请人 AIXTRON SE 发明人 PAGADALA GOPI, BASKAR
分类号 B01F3/02 主分类号 B01F3/02
代理机构 代理人
主权项
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