Oxidfilm-Niederschlagsverfahren und Oxidfilm-Niederschlagsvorrichtung

摘要

Diese Erfindung gibt ein Verfahren zur Bildung eines Oxidfilmes an, durch das die normale Bildung eines Oxidfilmes immer erzielt wird ohne Einfluss einer Änderung in der Atmosphäre, wodurch ein Metalloxidfilm mit niedrigem Widerstand gebildet werden kann und eine hohe Effizienz der Filmbildung erzielt wird. Erfindungsgemäß wird ein Nebel aus einer Ausgangsmateriallösung gebildet, die eine Alkylverbindung enthält und auf ein Substrat (100) in der Atmosphäre ejiziert wird. Zusätzlich wird ein Oxidationsmittel, das eine Oxidationswirkung auf die Alkylverbindung auswirkt, zu dem Nebel der Ausgangsmateriallösung geführt. Durch die oben beschriebenen Verfahren wird ein Oxidfilm auf dem Substrat dieser Erfindung gebildet.