一种气体分析装置及方法

摘要

本发明提供一种具有原位标定功能的气体分析装置。所述装置包括：取样室，与待测腔室通过第一阀门相连，用于引入待测腔室的样品气体；分析室，与取样室通过第二阀门相连，分析室上设有真空规管，用于监测分析室的真空度；气体分析器，设于分析室内，用于对待分析气体进行分析测试；标定模块，用于向气体分析器提供标准气体，对气体分析装置进行定量标定。本发明还提供一种气体分析方法。本发明通过标定模块对气体分析装置进行定期标定，通过加热器进行烘烤除气，并通过吹扫放气模块进行气体吹扫及保护气充入，保持系统持续具备良好的测试本底，保证测试准确性，可实现十亿分之一量级的气体浓度测试，尤其适用于对EUV真空环境进行气体分析检测。

主权项

一种气体分析装置，用于对待测腔室内的气体进行分析，其特征在于，包括：取样室，与所述待测腔室通过第一阀门相连，用于引入所述待测腔室的样品气体；分析室，与所述取样室通过第二阀门相连，所述分析室上设有真空规管，用于监测所述分析室的真空度；气体分析器，设于所述分析室内，用于对所述待分析气体进行分析测试；标定模块，用于向所述气体分析器提供标准气体，对所述气体分析装置进行定量标定；所述标定模块包括：第一标准气体室，用于为所述气体分析装置提供高纯度的标准气体，所述标准气体为具有确定浓度的多种气体混合物或单一气体；第一标准气体管路，用于连接所述第一标准气体室与所述取样室；第一气体压力传感器，用于准确监测所述取样室的压力；其中，所述第一标准气体管路上在所述第一标准气体室至所述取样室之间依次设有第一减压调节机构和第一截止阀；所述第一减压调节机构用于将从所述第一标准气体室引出的高压的标准气体降到适当压力并控制所述标准气体的进气流量；所述第一截止阀用于隔断所述取样室和所述第一标准气体室及所述第一标准气体管路。