| 发明名称 | 一种用于隔振的柔性装置及使用该装置的光刻设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种用于隔振的柔性装置，能有效将被隔振物体的六自由度模态控制在较低频率范围内，包括：第一接口、第二接口以及位于该第一第二接口中间的主体件，该主体件包括一中空圆柱以及位于该中空圆柱外表面的螺旋坡口。本发明还公开一种使用该柔性装置的光刻设备。 | ||
| 申请公布号 | CN103867622A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201210529669.0 | 申请日期 | 2012.12.11 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 吴飞;王茜;赵灿武;王璟 |
| 分类号 | F16F7/00(2006.01)I;F16F15/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | F16F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种用于隔振的柔性装置，其特征在于，包括：第一接口、第二接口以及位于所述第一第二接口中间的主体件，所述主体件包括一中空圆柱以及位于所述中空圆柱外表面的螺旋坡口。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||