含钛中高温太阳能吸收涂层的制备方法

摘要

本发明提供一种含钛中高温太阳能吸收涂层的制备方法，其包括以下步骤：S1.选择基体，在基体上制备一层铝膜作为金属红外反射层；S2.以纯钛为靶材，以氩气和氮气的混合气体作为溅射气体，采用磁控溅射在金属红外反射层上制备第一吸收层；S3.保持步骤S2中的靶材和溅射气体种类不变，减小溅射电流，同时减少氮气流量，在第一吸收层上制备第二吸收层；S4.制备光学减反射层。采用本发明提供的方法，大大简化了中高温太阳能吸收涂层制备的生产工艺，且因钛原料便宜而降低了成本，并节省了生产时间；反应气体只需用到氮气，无需氧气，这进一步简化了工艺，不但节省了气体来回切换的时间，还降低了氧化反应造成靶中毒、阳极消失的风险。

主权项

一种含钛中高温太阳能吸收涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.选择基体，在基体上制备一层金属红外反射层；S2.以纯钛为靶材，以氩气和氮气的混合气体作为溅射气体，采用磁控溅射在金属红外反射层上制备第一吸收层，其中氩氮流量比为4:1~6:1，开启钛靶电源，使溅射电流为1.0A~1.5A，使溅射电压不低于450V，得到第一吸收层厚度为150nm~200nm；S3.保持步骤S2中的靶材和溅射气体种类不变，在第一吸收层上制备第二吸收层，使氩氮流量比为10:1~15:1，溅射电流为0.5A~0.9A，保持溅射电压不低于400V，得到第二吸收层厚度为50nm~100nm；S4.制备光学减反射层。