一种用于石墨化炉的石墨坩埚

摘要

本实用新型公开了一种用于石墨化炉的石墨坩埚，包括石墨坩埚本体，所述石墨坩埚本体的侧壁与底板围成长方形的石墨坩埚本体；石墨坩埚本体的侧壁截面为多孔蜂窝结构，内孔一端封闭另一端配有可打开的密封盖；石墨坩埚本体的底板中心设有一个中心孔，侧壁上设有4~6个侧壁孔；侧壁孔的横截面为内大外小的梯形，每个侧壁孔内均设有一个石墨环，所述石墨环的中心设有贯穿的通孔。本实用新型的石墨坩埚的蜂窝结构使得受热均匀，产品质量好；且设有侧壁孔可将热气排出避免对石墨坩埚的侵蚀，提高使用寿命。

主权项

一种用于石墨化炉的石墨坩埚，包括石墨坩埚本体，其特征在于，所述石墨坩埚本体的侧壁与底板围成长方形的石墨坩埚本体；石墨坩埚本体的侧壁截面为多孔蜂窝结构，内孔一端封闭另一端配有可打开的密封盖；石墨坩埚本体的底板中心设有一个中心孔，侧壁上设有4~6个侧壁孔；侧壁孔的横截面为内大外小的梯形，每个侧壁孔内均设有一个石墨环，所述石墨环的中心设有贯穿的通孔。