发明名称 SAMPLE ORIENTATION SYSTEM AND METHOD
摘要 <p>Systems and methodology for orienting vertical position and tilt of samples, applied in ellipsometer and the like systems.</p>
申请公布号 EP1902281(B1) 申请公布日期 2014.06.18
申请号 EP20060784936 申请日期 2006.06.15
申请人 J.A. WOOLLAM CO. INC. 发明人 LIPHARDT, MARTIN M.
分类号 G01N21/21 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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