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发明名称
SAMPLE ORIENTATION SYSTEM AND METHOD
摘要
<p>Systems and methodology for orienting vertical position and tilt of samples, applied in ellipsometer and the like systems.</p>
申请公布号
EP1902281(B1)
申请公布日期
2014.06.18
申请号
EP20060784936
申请日期
2006.06.15
申请人
J.A. WOOLLAM CO. INC.
发明人
LIPHARDT, MARTIN M.
分类号
G01N21/21
主分类号
G01N21/21
代理机构
代理人
主权项
地址
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