确定RF 传输线上的变量的值的方法和系统

摘要

本发明涉及确定RF传输线上的变量的值的方法和系统，具体描述了用于确定射频（RF）传输模型上的变量的值的系统和方法。所述方法之一包括识别在RF发生器的输出位置测得的复电压和电流并基于在耦合到所述RF发生器的阻抗匹配电路中所定义的电气元件生成阻抗匹配模型。该方法进一步包括从所述阻抗匹配模型的输入穿过一个或多个元件以及穿过耦合到所述阻抗匹配模型的RF传输模型的部分的一或多个元件传送所述复电压和电流以确定在所述RF传输模型的部分的输出位置的复电压和电流。

主权项

一种用于确定射频（RF）传输模型上的变量的值的方法，所述方法包括：识别在RF发生器的输出位置测得的当所述RF发生器经由阻抗匹配电路耦合到等离子体室时的第一复电压和电流，所述阻抗匹配电路具有耦合到所述RF发生器的输出的输入和耦合到RF传输线的输出；基于所述阻抗匹配电路中所定义的电气元件生成阻抗匹配模型，所述阻抗匹配模型具有输入和输出，所述阻抗匹配模型的输入接收所述第一复电压和电流，所述阻抗匹配模型具有一个或多个元件；从所述阻抗匹配模型的输入到所述阻抗匹配模型的输出穿过所述一个或多个元件传送所述第一复电压和电流以确定第二复电压和电流，其中所述第二复电压和电流在所述阻抗匹配模型的输出位置；基于所述RF传输线中所定义的电路元件生成RF传输模型，所述RF传输模型具有输入和输出，所述RF传输模型的输入耦合到所述阻抗匹配模型的输出，所述RF传输模型具有包括一或多个元件的部分；以及从所述RF传输模型的输入到所述RF传输模型的所述部分的输出穿过所述RF传输模型的所述部分的所述一或多个元件传送所述第二复电压和电流以确定第三复电压和电流，其中所述第三复电压和电流在所述RF传输模型的所述部分的输出位置。