整片纳米压印用三层复合结构透明软模具原位制造方法

摘要

整片纳米压印用三层复合结构透明软模具原位制造方法，先制作母模，再进行母模抗粘连处理，然后在母模上涂覆特征结构层，再在预固化特征结构层上涂覆弹性支撑层，然后复合刚性限制层与液态PDMS，再进行初步固化脱模，最后完全固化，本发明一致性高、使用耐久性好、使用过程包含误差补偿，适合于大规模生产。

主权项

整片纳米压印用三层复合结构透明软模具，其特征在于：包括刚性支撑层，采用硼酸盐玻璃AF45或AF32，厚度200微米，刚性支撑层上依次为特征结构层和弹性缓冲层，特征结构层采用硬PDMS（H‑PDMS），厚度50～80微米；弹性缓冲层采用PDMS，厚度400～500微米；三层复合结构的透明软模具利用整片晶圆纳米压印光刻机实现原位制造。