制造滤光板用的掩模板、滤光板的形成方法、显示装置

摘要

一种制造滤光板用的掩模板、滤光板的形成方法、显示装置，掩模板包括：基板，基板的边长大于滤光板的边长；位于所述基板上的图形层，所述图形层包含形成至少3个液晶面板的滤光板上的遮光图案的开口区，以及开口区界定出的遮光区；所述图形层分为区域和周边区域，位于周边区域至少1个液晶面板的开口区的线宽与位于区域液晶面板开口区的线宽不相等。本技术方案对掩模板由于重力作用而弯曲、大型曝光机本身的光强和间距分布均匀性，大型显影机特别是倾斜式显影机本身的不均匀性等外部原因对遮光图案线宽均匀性造成的影响进行校正，使利用本技术方案的掩模板形成滤光板上的遮光图案时，区域和周边区域的遮光图案的线宽基本相等。

主权项

一种制造液晶显示装置用滤光板时使用的掩模板，其特征在于，包括：基板，所述基板的边长大于所述滤光板的边长；位于所述基板上的图形层，所述图形层包含形成至少3个液晶面板的滤光板上的遮光图案的开口区，以及开口区界定出的遮光区；所述图形层分为中央区域和周边区域，位于周边区域至少1个液晶面板的开口区的线宽与位于中央区域液晶面板开口区的线宽不相等。