一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法

摘要

一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法，该双台包括一个基座及安装在基座上的两个工件台，每个工件台对应一个激光尺测量信号切换装置；每个切换装置包括两个激光尺，两个差分变单端模块，一个信号处理单元，一个切换模块，一个单端变差分模块和一个驱动器；每个激光尺由激光头和细分盒组成。在双台交换过程中，当两个工件台运动到一定位置时，切换模块产生一个切换信号，输入给信号处理单元，通过信号处理单元中的切换逻辑可以实现两路激光尺信号的快速切换，避免因工件台遮挡激光尺而产生的测量错误。本方案切换时间小于电机驱动器的采样周期，从而避免了切换过程中的信号丢失问题，保证了工件台的运动定位精度。

主权项

一种双台交换激光尺测量信号切换装置，该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台，每个工件台对应一个激光尺测量信号切换装置，其特征在于：每个激光尺测量信号切换装置包括两个激光尺、两个差分变单端模块、一个信号处理单元、一个单端变差分模块、一个切换模块和一个驱动器；每个激光尺由激光头和细分盒组成，激光尺的激光头沿X方向对称固定安装在基台上，激光尺测得的信号通过细分盒输出三路差分信号；每个差分变单端模块与激光尺的细分盒相连，将从细分盒输入的差分信号变为单端信号输出；切换模块与信号处理单元相连，产生切换信号，经整形后输入到信号处理单元；信号处理单元的输入端分别与两个差分变单端模块和切换模块相连，在信号处理单元中以切换信号作为选择信号，实现两路激光尺信号切换逻辑；信号处理单元的输出端与单端变差分模块相连，该单端变差分模块将从信号处理单元输入的单端信号转变成差分信号，然后输出给控制工件台运动的驱动器。