有机光电子器件的卷对卷制备设备及其制备方法

摘要

本发明公开了一种有机光电子器件的卷对卷制备设备，包括惰性气体腔室和设置在惰性气体腔室内的卷对卷传输装置、有机功能层制备系统和阴极形成系统；所述有机功能层制备系统和阴极形成系统依次沿器件材料传输方向先后设置；所述惰性气体腔室内还设置有水分析仪和氧分析仪；本发明的卷对卷设备和制备方法能实现连续、快速、大规模制备有机光电子器件，冲破传统工艺成本高，不能连续、快速、大规模制备的产业化障碍，同时为柔性透明有机器件的制备提供了一个极佳方法。

主权项

一种有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：包括惰性气体腔室和设置在惰性气体腔室内的卷对卷传输装置、有机功能层制备系统和阴极形成系统；所述有机功能层制备系统和阴极形成系统依次沿衬底材料传输方向先后设置。