一种高效多晶硅提纯用大容量装料结构

摘要

本实用新型公开了一种高效多晶硅提纯用大容量装料结构，包括平铺在石英坩埚底部的碎硅片铺装层和由下至上分多层装于石英坩埚内的待提纯多晶硅锭；上下相邻两层待提纯多晶硅锭之间均通过一个由块状多晶硅拼装形成的分隔层分隔；石英坩埚内侧壁与多个分隔层之间垫装有一层由块状多晶硅拼装形成的护边，多个分隔层和多层待提纯多晶硅锭均位于护边内，护边位于碎硅片铺装层上方；护边上盖装有一层由块状多晶硅拼装形成的盖顶；碎硅片铺装层与底部分隔层之间、上下相邻两个分隔层之间以及顶部分隔层与盖顶之间通过颗粒状多晶硅进行充填。本实用新型结构简单、设计合理且装料过程简便，能有效增加多晶硅提纯时石英坩埚内硅料的填装密度。

主权项

一种高效多晶硅提纯用大容量装料结构，其特征在于：包括平铺在石英坩埚（1）底部的碎硅片铺装层（2）和由下至上分多层装于石英坩埚（1）内的待提纯多晶硅锭（3），每一层所述待提纯多晶硅锭（3）均包括布设在同一水平面上的多支待提纯多晶硅锭（3）；上下相邻两层所述待提纯多晶硅锭（3）之间均通过一个由块状多晶硅拼装形成的分隔层（7）进行分隔，所述分隔层（7）的数量为多个，多个所述分隔层（7）均呈水平向布设；所述石英坩埚（1）的内侧壁与多个所述分隔层（7）之间均垫装有一层由块状多晶硅拼装形成的护边（5），多个所述分隔层（7）和多层所述待提纯多晶硅锭（3）均位于护边（5）内，所述护边（5）位于碎硅片铺装层（2）上方；所述护边（5）上盖装有一层由块状多晶硅拼装形成的盖顶（4），所述盖顶（4）呈水平向布设；多个所述分隔层（7）中位于最底部的分隔层（7）为底部分隔层，多个所述分隔层（7）中位于最顶部的分隔层（7）为顶部分隔层；所述碎硅片铺装层（2）与所述底部分隔层之间、上下相邻两个所述分隔层（7）之间以及所述顶部分隔层与盖顶（4）之间均通过颗粒状多晶硅（6）进行充填。