一种真空紫外激光线宽的测量装置和方法

摘要

本发明提供一种真空紫外激光线宽的测量装置和方法，其中：真空腔系统包括腔体和入射窗口，光束准直系统、干涉元件和探测元件均置于所述腔体内；所述入射窗口用于入射真空紫外激光；光束准直系统用于对入射的真空紫外激光进行准直；所述干涉元件为楔形劈尖，用于将准直后的真空紫外激光反射形成两束相干光束，在探测元件表面产生干涉条纹；所述探测元件用于采集所述干涉条纹的信息；数据处理系统用于采集和处理所述探测元件获得的干涉条纹的信息，得到所述真空紫外激光的线宽。本发明解决了现有技术中对于波长小于185nm的真空紫外激光无法直接测量线宽的技术问题，光学结构简单，性能稳定，对连续、准连续和脉冲真空紫外激光均可实时测量。

主权项

一种真空紫外激光线宽的测量装置，其特征在于，包括：真空腔系统、光束准直系统、干涉元件、探测元件和数据处理系统；所述真空腔系统包括腔体和入射窗口，所述腔体内为真空或充满对真空紫外激光吸收较低的气体，用于防止真空紫外激光被吸收，所述光束准直系统、干涉元件和探测元件均置于所述腔体内；所述入射窗口位于所述腔体的腔壁上，用于入射真空紫外激光；所述光束准直系统用于对入射的真空紫外激光进行准直；所述干涉元件为楔形劈尖，用于将准直后的真空紫外激光反射形成两束相干光束，在所述探测元件表面产生干涉条纹；所述探测元件为真空紫外波段可用的探测器，用于采集所述干涉条纹的信息；所述数据处理系统在所述腔体外，与所述探测元件相连，用于采集和处理所述探测元件获得的干涉条纹的信息，得到所述真空紫外激光的线宽。