一种纳米压印工作台主动调平检测用传感器

摘要

一种纳米压印工作台主动调平检测传感器，宽带点光源发出的光经过第一无色差扩束准直光学透镜后，形成宽带平行光束，平行光经第一分光棱镜后进入色散透镜组，在空间形成一系列的聚焦点；聚焦于倾斜物体表面的某单色光，经基片反射经过色散透镜组，出射与入射光等口径、光轴偏移的平行单色光束；单色平行光束经第一分光棱镜、第二分光棱镜反射后分成两部分，一部分到达二维光电位置探测器；另一部分由第二无色差光学透镜聚焦，并经针孔滤波后，由光谱探测器接受，利用二维光电位置探测器来检测工作台工作面之间的平行度偏差，利用光谱探测器来检测工作台工作面之间的距离，具有生产成本低、安装可靠、操作简单的优点。

主权项

一种纳米压印工作台主动调平检测传感器，包括宽带点光源（1），其特征在于：宽带点光源（1）发出的光经过第一无色差扩束准直光学透镜（2）后，形成宽带平行光束，不同波长的光无位相差异；平行光经第一分光棱镜（3）后进入色散透镜组（4），不同波长的光产生光谱色散，在空间形成一系列的聚焦点；聚焦于倾斜物体表面的某单色光，经基片（11）反射经过色散透镜组（4），出射与入射光等口径、光轴偏移的平行单色光束；单色平行光束经第一分光棱镜（3）、第二分光棱镜（5）反射后分成两部分，一部分到达二维光电位置探测器（6）（PSD）；另一部分由第二无色差光学透镜（7）聚焦，并经针孔（8）滤波后，由光谱探测器（9）接受，光谱探测器（9）、二维光电位置探测器（6）分别和计算机（10）连接。