| 发明名称 | 压电薄膜谐振器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种压电薄膜谐振器，所述压电薄膜谐振器包括：基板；压电膜，所述压电膜设置在所述基板上，并且包括第一膜和第二膜，所述第一膜由含有添加元素的氮化铝膜制成，所述第二膜设置在所述第一膜的上表面和下表面上，并由以低于第一膜的浓度含有所述添加元素的氮化铝膜制成；和下电极和上电极，所述上电极和下电极设置成夹持所述压电膜。 | ||
| 申请公布号 | CN103873009A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201310692927.1 | 申请日期 | 2013.12.17 |
| 申请人 | 太阳诱电株式会社 | 发明人 | 恩田阳介 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01)I;H03H3/02(2006.01)I;H01L41/18(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/17(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 庞东成;解延雷 |
| 主权项 | 一种压电薄膜谐振器，所述压电薄膜谐振器包括：基板；压电膜，所述压电膜设置在所述基板上，并且包括第一膜和第二膜，所述第一膜由含有添加元素的氮化铝膜制成，所述第二膜设置在所述第一膜的上表面和下表面上，并由以低于所述第一膜的浓度含有所述添加元素的氮化铝膜制成；和下电极和上电极，所述上电极和下电极设置成夹持所述压电膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||