多晶硅锭表面预处理装置及其处理方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅锭表面预处理装置及其处理方法，解决了现有技术存在的环境粉尘污染严重，表面清理质量和效率均低下的问题。包括在预处理池支架（4）上依次设置有腐蚀池（5）、超声波浸泡池（7）和漂洗喷淋池（8），在腐蚀池（5）的长方体形腐蚀池体（9）的底面设置有排液管路（14），在排液管路（14）上设置有排液控制阀（15），在长方体形腐蚀池体（9）的左右两侧面底部均设置有池底凹槽（10），在池底凹槽（10）中设置有电加热器（11），在长方体形腐蚀池体（9）的内侧壁上分别设置有酸液输入管（12）、碱液输入管（13）、纯净水输入管（17）和压缩空气输入管（18）。提高了硅锭的开方质量和边料的回用率。

主权项

一种多晶硅锭表面预处理装置，包括龙门吊导轨（1），在龙门吊导轨（1）上设置有龙门吊（2），在龙门吊（2）上设置有硅锭吊具（3），在龙门吊导轨（1）的一侧设置有预处理池支架（4），在预处理池支架（4）上依次设置有腐蚀池（5）、超声波浸泡池（7）和漂洗喷淋池（8），其特征在于，在腐蚀池（5）的长方体形腐蚀池体（9）的底面中央设置有排液管路（14），在排液管路（14）上设置有排液控制阀（15），在长方体形腐蚀池体（9）的左右两内侧面底部均设置有池底凹槽（10），在池底凹槽（10）中设置有电加热器（11），在长方体形腐蚀池体（9）内分别连通有酸液输入管（12）、碱液输入管（13）、净水输入管（17）和压缩空气输入管（18），在长方体形腐蚀池体（9）的底面上设置有硅锭支撑台（16）。