| 发明名称 | 用于旋涂机的压力检测系统、罐体及旋涂机 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于旋涂机的压力检测系统，以及包括这种压力检测系统的罐体和旋涂机。所述旋涂机包括用于容纳溶剂的罐体，所述压力检测系统包括：压力检测装置和控制系统，其中，所述压力检测装置包括附接至罐体的压力传感装置，并用于检测和判断罐体的内部压力是否处于预定范围内；所述控制系统用于控制压力检测装置的启动，以及控制旋涂机的工作和停止。 | ||
| 申请公布号 | CN203648806U | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201320543082.5 | 申请日期 | 2013.09.03 |
| 申请人 | 和舰科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 赵久嵩;甄宗沛;苏云雷;安礼余 |
| 分类号 | B05C11/10(2006.01)I;G01L19/12(2006.01)I | 主分类号 | B05C11/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 赵燕青 |
| 主权项 | 一种用于旋涂机的压力检测系统，所述旋涂机包括用于容纳溶剂的罐体，其特征在于： 所述压力检测系统包括：压力检测装置和控制系统， 其中，所述压力检测装置包括附接至罐体的压力传感装置，并用于检测和判断罐体的内部压力是否处于预定范围内； 所述控制系统用于控制压力检测装置的启动，以及控制旋涂机的工作和停止。 | ||
| 地址 | 215025 江苏省苏州工业园区星华街333号 | ||