一种机械手臂叶板

摘要

本申请公开了一种机械手臂叶板，包括叶板和承载座，所述叶板为至少设有一个以上之定位孔薄板片，其各定位孔内径中设有内凸环；所述承载座为可供嵌入定位孔的弹性橡胶材质本体，该本体上端设有向上开口的吸附盘，该吸附盘设有透气孔，所述本体下端外环中设有内凹环，可供嵌入各定位孔的内凸环，形成内嵌式公母扣固设计；由此，能确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性。

主权项

一种机械手臂叶板，其特征在于：包括叶板和承载座，所述叶板为至少设有一个以上之定位孔薄板片，其各定位孔内径中设有内凸环；所述承载座为可供嵌入定位孔的弹性橡胶材质本体，该本体上端设有向上开口的吸附盘，该吸附盘中央设有透气孔，所述本体下端外环中设有内凹环，可供嵌入各定位孔的内凸环，形成内嵌式公母扣固设计。