用于处理晶片形物品的方法和装置

摘要

本发明公开了用于处理晶片形物品的方法和装置。通过使用被设计为产生单分散微滴喷雾的微滴生成器来提高晶片形物品的湿法处理。微滴生成器安装到旋压卡盘上方，并且沿线性或弧形路径移动横过晶片形物品的主表面。微滴生成器包括换能器，所述换能器与其主体声学地耦合以使声能到达主体的围绕排放孔口的区域。每个孔口都具有至少1μm且至多200μm的宽度w和高度h，以使h与w的比率不大于1。

主权项

一种用于晶片形物品的湿法处理的装置，其包括：旋压卡盘，其适于将晶片形物品保持为在预定方位；微滴生成器，其具有主体、液体入口、用于当所述晶片形物品定位在所述旋压卡盘上时将液体排放到所述晶片形物品的表面上的至少一个孔口、以及与所述主体声学地耦合以使得声能到达所述主体的围绕所述至少一个孔口的区域的至少一个换能器；其中所述微滴生成器被构造为将液体作为单分散液体微滴喷雾通过所述至少一个孔口分送；处理液体分送器，其相对于所述旋压卡盘和所述微滴生成器定位，从而将处理液体分送到晶片形物品的与从所述微滴生成器排出的液体相同的一侧上；以及控制器，其被构造为与从所述处理液体分送器分送的处理液体相关地控制来自所述微滴生成器的单分散液体微滴喷雾。