| 发明名称 | 分离上电极与冷却盘的装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种分离上电极与冷却盘的装置。其包括分离臂、与所述分离臂连接的操作杆，当需要对上电极进行维护时，操作人员操作所述操作杆时，所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙后，以分离所述上电极与所述冷却盘。由于采用操作杆和分离臂机械配合的方式，使得分离臂可以匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙，因此，无须单纯的依靠蛮力硬性将工具插入到安装间隙中，避免了出现人为造成电极被损坏，同时也避免了上电极的边缘较为锋利导致的操作人员受伤。 | ||
| 申请公布号 | CN103871936A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201410117683.9 | 申请日期 | 2014.03.27 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 朱怀昊;季高明 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人 | 吴世华;林彦之 |
| 主权项 | 一种分离上电极与冷却盘的装置，其特征在于，包括分离臂、与所述分离臂连接的操作杆，当需要维护上电极时，操作人员操作所述操作杆时，所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙后，以分离所述上电极与所述冷却盘。 | ||
| 地址 | 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 | ||