发明名称 |
一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法 |
摘要 |
本发明公开了一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法,属于材料制备方法技术领域。所述的清洗方法通过双氧水超声、超纯水超声、丙酮超声、乙醇超声、吹干、擦拭、烘烤和等离子体清洗器清洗,获得清洗干净的玻璃衬底,最后可以在玻璃衬底表面进行镀膜。本发明提供的清洗方法中未使用强酸强碱,可以保证玻璃的表面不受破坏。本清洗方法操作简单,流程较短,不需要大的清洗装置和大量的清洗液,可有效节约空间、节约成本、节约能源、节约时间。 |
申请公布号 |
CN102649625B |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
申请号 |
CN201210135847.1 |
申请日期 |
2012.05.03 |
申请人 |
北京鼎臣超导科技有限公司 |
发明人 |
王三胜;张丽 |
分类号 |
C03C25/70(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
C03C25/70(2006.01)I |
代理机构 |
北京永创新实专利事务所 11121 |
代理人 |
姜荣丽 |
主权项 |
一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法,其特征在于,所述的清洗方法具体通过如下步骤实现:第一步,先将玻璃衬底放入双氧水中超声清洗1~3分钟;所述的双氧水的质量百分比浓度为3%‑30%;第二步,将玻璃衬底放入超纯水中超声5~10分钟;第三步,将玻璃衬底放入丙酮中超声5~10分钟;第四步,将玻璃衬底放入乙醇中超声5~10分钟;第五步,用氩气将玻璃衬底吹干;第六步,用干净的丝绸擦拭玻璃衬底表面;第七步,将玻璃衬底放在洁净烘箱中烘烤5~10分钟;烘箱温度为40℃‑120℃;第八步,将玻璃衬底放入等离子体清洗器清洗3~5分钟;在清洗干净的玻璃衬底表面进行镀膜;所述的玻璃衬底为K9玻璃衬底或石英玻璃衬底。 |
地址 |
100206 北京市海淀区沙河第二毛条厂4号楼3层 |