发明名称
摘要
申请公布号 JP5527564(B2) 申请公布日期 2014.06.18
申请号 JP20130008292 申请日期 2013.01.21
申请人 发明人
分类号 H03H3/02;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;H03H9/02 主分类号 H03H3/02
代理机构 代理人
主权项
地址