滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构

摘要

本发明公开了一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构，包括紫外灯光源和能够控制光源光照强度变化的控制电路，紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱，紫外灯管安装在所述灯罩的抛物线焦点上，凸透镜柱安装在抛物面的开口处，凸透镜柱的一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上，也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上；紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间，保持位置不变；控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面芯轴上的感应线圈探头，且滚筒模具端面上均匀且磁极极性交替变化地安装有多个能与感应线圈探头对应的永磁体，感应线圈探头经放大电路和整流电路与紫外灯管相连形成一闭合回路。

主权项

一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构，其特征是，包括紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路，所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱，所述紫外灯管安装在所述灯罩的抛物线焦点上，经过抛物面型灯罩的反射作用，就会形成一束平行光柱，凸透镜柱安装在抛物面的开口处，平行光柱经过凸透镜柱的折射作用后在其焦点处汇聚成一条直线，凸透镜柱的一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上，也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上；所述紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间在辊压印模具绕芯轴旋转时，保持位置不变；所述控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面芯轴上的感应线圈探头，且前述滚筒模具端面上均匀且磁极极性交替变化地安装有多个能与感应线圈探头对应的永磁体，感应线圈探头经放大电路和整流电路与紫外灯管相连形成一闭合回路；感应电动势是由随滚筒模具同步转动的永磁体和固定不动的感应线圈探头切割磁力线产生的，当滚对平面光刻压印的滚筒转动时，线圈的闭合回路中就会产生感应电流，此电流的有效值与滚筒模具转速有关，转速越大有效值就越大，反之就越低；这样就能使得紫外灯光源的光照强度随滚筒模具的转速改变而改变，滚筒模具的转速越大光照强度就会越强。