离子注入层载流子浓度测试方法

摘要

本发明公开了一种离子注入层载流子浓度测试方法。该方法包括步骤1，将样片固定到样片架上，对样片进行霍尔测试，获取样片的霍尔数据；步骤2，将样片从样片架上取下，进行离子注入、退火、以及清洗操作，测量样片的厚度，并重新将样片固定到样片架上并进行霍尔测试，获取相应的霍尔数据；步骤3，将样片从样片架上取下并清洗后，进行样片背面减薄工艺，取下样片，测量样片的厚度，并重新将样片固定到样片架上并进行霍尔测试，获取相应的霍尔数据；步骤4，重复步骤3，汇总霍尔数据和对应的样片厚度，获取霍尔数据随样片厚度的变化关系，根据变化关系确定样片的离子注入层载流子浓度。

主权项

一种离子注入层载流子浓度测试方法，其特征在于，包括：步骤1，将样片固定到样片架上，对所述样片进行霍尔测试，获取所述样片的霍尔数据；步骤2，将所述样片从所述样片架上取下，进行离子注入、退火、以及清洗操作，测量所述样片的厚度，并重新将所述样片固定到所述样片架上并进行霍尔测试，获取相应的霍尔数据；步骤3，将所述样片从所述样片架上取下并清洗后，进行样片背面减薄工艺，取下样片，测量所述样片的厚度，并重新将所述样片固定到所述样片架上并进行霍尔测试，获取相应的霍尔数据；步骤4，重复步骤3，汇总霍尔数据和对应的样片厚度，获取霍尔数据随所述样片厚度的变化关系，根据所述变化关系确定所述样片的离子注入层载流子浓度。