发明名称 旋转型切换阀
摘要 本发明涉及一种旋转型切换阀,能够防止主流体从间隙部泄漏。旋转型切换阀具有:阀主体(2),形成流动有工艺气体的腔室连通路(24)和将主流体排出的排放连通路(25);以及圆筒阀芯(3),可旋转地保持在阀主体(2)内,内部形成供主流体流动的主流路(31),通过使圆筒阀芯3旋转,能够将主流路(31)在腔室连通路(24)和排放连通路(25)之间切换,其中,具有用于使清洗气体向阀主体(2)和圆筒阀芯(3)之间的间隙部(11)流动的清洗气体流路(22a、22b、22c、22d、22e),通过使清洗气体向间隙部(11)流动,防止主流体从主流路(31)泄漏。
申请公布号 CN101839355B 申请公布日期 2014.06.18
申请号 CN201010135748.4 申请日期 2010.03.16
申请人 喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社 发明人 小泽幸生;矢岛孝视;冈部庸之;大仓成幸
分类号 F16K11/085(2006.01)I;F16K5/04(2006.01)I 主分类号 F16K11/085(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 高培培;车文
主权项 一种旋转型切换阀,具有:阀主体,形成有供主流体流动的腔室连通路和将该主流体排出的排放连通路;以及圆筒阀芯,可旋转地保持在该阀主体内,内部形成有供主流体流动的主流路,通过使该圆筒阀芯旋转,能够将该主流路在该腔室连通路和该排放连通路之间切换,所述旋转型切换阀的特征在于,具有用于使清洗气体流至所述阀主体和所述圆筒阀芯之间的间隙部的清洗气体流路,通过使清洗气体流至所述间隙部,将所述主流体推回至所述主流路,防止所述主流体从所述主流路泄漏,将所述清洗气体的流量控制为使所述清洗气体向所述主流体混入的混入比例为1000PPM以下的流量。
地址 日本爱知县小牧市