传输硅片花篮的90°旋转机构

摘要

本实用新型涉及硅片生产领域，公开了一种传输硅片花篮的90°旋转机构，由旋转单元和由旋转单元支撑的传输单元组成。传输单元包括传输驱动组件、主动轮、从动轮、传送带以及顶面圆盘，硅片花篮放置在顶面圆盘上，由传输驱动组件驱动主动轮和从动轮和传送带移动硅片花篮，使硅片花篮进入和离开旋转机构。旋转单元由旋转单元支撑板、旋转圆盘和旋转驱动装置组成，旋转圆盘在旋转单元支撑板的圆孔中平稳的转动带动传输单元及放置在传输单元上的硅片花篮转动，通过传输单元和旋转单元的配合实现传输线上的硅片花篮90°转向。由于旋转圆盘放置在偏心凸轮导向器上旋转，其旋转过程平稳性好，克服现有技术旋转时平衡性差的问题。

主权项

一种传输硅片花篮的90°旋转机构，其特征在于，包括由支架支撑的旋转单元以及由旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元；所述旋转单元包括旋转单元支撑板、旋转圆盘、旋转驱动装置以及多个偏心凸轮导向器，所述旋转单元支撑板安装在所述支架上，旋转单元支撑板的中心设有圆孔，圆孔的直径大于旋转圆盘的直径；所述旋转圆盘安装在圆孔中；所述偏心凸轮导向器安装在旋转单元支撑板下板面的圆孔周围，偏心凸轮导向器滚轮的滚动面与旋转圆盘的下盘面相切；所述旋转驱动装置驱动所述旋转圆盘在圆孔中转动；所述连接板固定在旋转圆盘上；所述传输单元包括两个传输单元支撑板、顶面圆盘、两个主动轮、两对从动轮、两条传送带以及传输驱动组件，所述传输单元支撑板对称安装在连接板的两边，所述顶面圆盘水平安装在传输单元支撑板的上部；所述主动轮和从动轮以对称方式旋转安装在两个传输单元支撑板上；所述从动轮水平安装在传输单元支撑板靠近顶面圆盘的位置，从动轮的上沿高于顶面圆盘的上盘面；所述两条传送带分别缠绕在位于同一个传输单元支撑板上的主动轮和从动轮上；所述传输驱动组件通过转动轴与所述主动轮连接，驱动主动轮转动。