薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法，所述薄膜晶体管阵列基板包括：基板；透明电极层，包括像素电极，形成于所述基板上方；栅金属层，包括栅电极及栅线，其中栅电极和一部分栅线形成在基板上方；栅绝缘层，覆盖于所述基板、像素电极、栅电极和栅线上方；有源层，形成于栅绝缘层的上方且与栅电极相对；源漏电极层，包括源极、漏极和数据线、以及另一部分栅线，形成于有源层及栅绝缘层的上方；其中所述栅绝缘层上形成有连通孔及过孔，两部分栅线之间通过所述连通孔连通，所述漏极与所述像素电极通过所述过孔连通。本发明的阵列基板，简化了生产工艺，降低了生产成本，缩短了生产周期。

主权项

一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，所述薄膜晶体管阵列基板包括：基板、栅金属层、栅绝缘层、有源层、源漏电极层及透明电极层；其中，所述透明电极层，包括像素电极，形成于所述基板上方；栅金属层，包括栅电极及栅线，其中栅电极和一部分栅线形成在所述基板上方；栅绝缘层，覆盖于所述基板、所述像素电极、所述栅电极和所述栅线上方；有源层，形成于所述栅绝缘层的上方且与所述栅电极相对；源漏电极层，包括源极、漏极和数据线、以及另一部分栅线，形成于所述有源层及所述栅绝缘层的上方；其中所述栅绝缘层上形成有连通孔及过孔，两部分栅线之间通过所述连通孔连通，所述漏极与所述像素电极通过所述过孔连通。